文章摘要
章珍霞,张逸新.SE电池电极制造过程中的硅片表面粗糙度对蜡滴铺展的影响[J].包装工程,2012,33(9):130-134.
ZHANG Zhen-xia,ZHANG Yi-xin.Influence of Polysilicon Surface Roughness on Wax Drop Spreading in Electrode Production Process of SE Batteries[J].Packaging Engineering,2012,33(9):130-134.
SE电池电极制造过程中的硅片表面粗糙度对蜡滴铺展的影响
Influence of Polysilicon Surface Roughness on Wax Drop Spreading in Electrode Production Process of SE Batteries
投稿时间:2011-12-26  修订日期:2012-05-10
DOI:
中文关键词: 喷蜡印刷  多晶硅片  粗糙度  铺展系数
英文关键词: spray wax printing  polysilicon  roughness  spreading coefficient
基金项目:
作者单位
章珍霞 江南大学 无锡 214122 
张逸新 江南大学 无锡 214122 
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中文摘要:
      建立了蜡滴铺展系数与多晶硅片表面粗糙度的准则关系式,运用最小二乘法数据拟合方法得出了蜡滴铺展系数与相关参数的实验关系式。该实验关系式揭示了喷蜡蜡滴在多晶硅片上的铺展直径与多晶硅片表面粗糙度间的函数关系。
英文摘要:
      The criterion equation of wax drop spreading coefficient and surface roughness of polycrystalline silicon was established. The least square method was applied to fit the empirical formula of wax drop spreading coefficient and related parameters. The empirical formula can be used for predicting the largest spread diameter of wax drop on the polysilicon.
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